Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu Công nghệ cao TPHCM (SHTPLABS) và Trung tâm Nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch (ICDREC) Đại học Quốc gia TPHCM vừa công bố việc sản xuất thành công chip cảm biến áp suất bằng công nghệ MEMS.
Nhóm nghiên cứu giới thiệu ứng dụng của chip cảm biến áp suất.
Ảnh: VGP/Mạnh Hùng
Đây là con chip theo công nghệ vi
cơ điện tử (MEMS) đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một wafer, với nhiều kích thước và dải đo khác nhau. Bước đầu, chip được sản xuất ở trong phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%. Nếu sản xuất trên dây truyền công nghiệp, độ đồng nhất dự kiến đạt trên 95%.
Theo ThS. Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu, chip cảm biến áp suất được ứng dụng rộng rãi trong đời sống (dùng trong thiết bị kiểm soát áp suất đường ống khí gas; cho các thiết bị đo mực nước của máy giặt, máy rửa bát, bồn nước; đo mực nước trong các công trình thủy lợi, chống ngập, thiết bị đo huyết áp…).
Ông Ngô Đức Hoàng, Giám đốc ICDREC, cho biết đây là một sản phẩm mà khả năng thương mại hóa cao vì những ứng dụng của nó được nhiều đối tác quan tâm.
Hiện Công ty Global Technical Service (Công viên phần mềm Quang Trung, TPHCM) đã ký thỏa thuận hợp tác để ứng dụng chip cảm biến áp suất trong việc sản xuất thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước.
Theo ông Hoàng, từ nay đến cuối năm, SHTPLABS và ICDREC sẽ công bố khoảng 30 sản phẩm công nghệ do 2 đơn vị hợp tác nghiên cứu. Đây đều là những sản phẩm có tính ứng dụng thực tiễn rất cao.
ICDREC đã có nhiều sản phẩm nghiên cứu như: Thiết bị giám sát hành trình trên ô tô X200, hộp đen chống trộm xe máy XM100, điện kế điện tử, khóa định vị container, thiết bị giám sát nhiệt độ hàng hóa... Trong đó, sản phẩm thiết bị giám sát hành trình trên ô tô X200, hộp đen chống trộm xe máy XM100 đã được Tổng Công ty Công nghiệp Sài Gòn đầu tư sản xuất.
Theo Mạnh Hùng/Chinhphu.vn